對于數控機床出現的爬行與振動的故障，不能急于下結論，而應根據產生故障的可能性，列出可能造成數控機床看待與振動的有關因素，然后逐個因素檢查、分析、定位。
檢查時，查到哪一處有問題，就將該處的問題加以分析，看是否是造成故障的主要矛盾，直至將每一個可能產生故障的因素都查到。最后再統籌考慮，提出一個綜合性的解決方案，將故障排除。
排除數控機床進給系統的爬行與振動故障的具體方法如下。
1. 對故障發生的部位進行分析。
由于數控機床進給系統低速時的爬行現象往往取決于機械傳動部件的特性，調整時的振動現象通宵宇進給傳動鏈中運動副的預緊力有關，因此，爬行與振動故障的原因通常需要在機械部件中查找。
另外，因爬行和振動問題與進給速度密切相關，所以也要分析進給伺服系統的速度環和系統參數。
2. 機械部件故障的檢查和排除
如果造成爬行與振動的原因在機械部件，則首先要檢查導軌副。盡管數控機床的導軌副采用了滾動導軌、靜壓導軌或塑料導軌，但如果調整不好，仍會造成爬行或振動。對滾動導軌，應檢查預緊是否良好；對靜壓導軌，應檢查靜壓是否建立；對塑料導軌，應檢查有否雜質或異物阻礙導軌副運動。
導軌副的潤滑不好也可能引起爬行問題，有時出現爬行現象就是導軌副潤滑狀態不好造成的。這果可采用具有防爬作用的導軌潤滑油，這種導軌潤滑油中有極性添加劑，能在導軌表面形成一層不易破裂的油膜，從而改善導軌的摩擦特性。
其次，要檢查進給傳動鏈在進給系統中，伺服驅動裝置到移動部件之間必定要經過由齒輪、絲杠螺母副或其他傳動副所組成的傳動鏈。提高這一傳動鏈的扭轉和拉壓剛度，對于提高運動精度、削除爬行非常有益。
引起移動部件爬行的原因之一是軸承、絲杠螺母副和絲杠本身的預緊或不理想。傳動鏈太長、傳動軸直徑偏小、支承和支承座的風度不夠也是引起爬行的不可忽略的因素。因此，在檢查時也要考慮這些方面是否有缺陷。

另外，機械系統連接不良，如聯軸器損壞等也可能會引起機床的爬行和振動。